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Inoue Labo. Research

Outline

Research Themes

1. 新奇金属窒化物薄膜の創製
「プラズマ」とは,気体にエネルギーを投入して分子の一部を電離させた状態のことです.電子は大きなエネルギーを持つので,化学反応性を活性化します.一方で気体粒子は低温のままなので,プロセス全体は低温で進行します.本研究は,低圧非平衡窒素プラズマを利用して,新奇な金属窒化物を成膜し,各種物性を明らかにするとともに,新材料として応用の可能性を探ります.

2. プラズマ過程のその場計測
プラズマの中の反応過程は複雑なため,何が起こっているのかよくわかっていません.広範な工業分野で,すでにプラズマは実用に供されていますが,反応過程が不明なため,プラズマの制御は非常に困難です.本研究は,プラズマプロセスにおいて,どんな反応が進行しているのか,その場計測手法と表面・薄膜評価手法を駆使し,総合的にプラズマ中の反応過程を解析します.
Organosilicon Plasma Diagnostics

3. 吸着誘起型エレクトロクロミック材料
「エレクトロクロミック(EC)」とは,電荷の出入りに従って,可逆的に物質の色が変化する現象のことです.最近,表面吸着物の交代に伴って色が変化する,新型のEC現象が発見されました.酸化タングステンなどの従来型EC材料に比べ,飛躍的に速い応答速度が期待できます.本研究は,この吸着誘起型EC現象の原理解明と,EC特性の向上と実用化のための基礎的な研究を行います.
Biomimetic Electrochromic Nitride

Facilities

Last update : 2015.5.8.


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